镁伽科技正式参评“维科杯·OFweek 2026年度激光行业最佳精密激光设备技术创新奖”

2026-05-22 17:52

维科杯·OFweek2026激光行业年度评选”由高科技行业门户OFweek维科网主办，维科网·激光承办，活动旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物，鼓励更多企业投入技术创新，同时为行业输送更多创新产品、前沿技术，以提高生产力、经济效益，给用户提供更大便利，引导行业良性快速发展。

本次评选活动2026年6月为网络投票阶段，并将于2026年7月16日在深圳举行盛大的颁奖典礼。目前，活动正处于火热的报名申报阶段，业内企业均积极响应。镁伽科技正式参评“维科杯·OFweek 2026年度激光行业最佳精密激光设备技术创新奖”

参选奖项: 维科杯·OFweek 2026年度激光行业最佳精密激光设备技术创新奖

项目名称：镁伽皮秒激光开槽

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产品推出年份／开发背景：2025

在采用低介电常数（Low－K）介质与铜互连结构的高性能半导体器件中，极窄的加工空间、严苛的精度要求、难以控制的碎屑污染……每一个痛点都让行业从业者头疼不已。镁伽通过对Low－K材料的特殊性研究，凭借自主核心技术，打破传统激光设备制造框架，采用精密激光微槽成型技术，研制出具备微米级热影响加工精度的智能化装备——Fabsil－LG13T皮秒激光开槽。用技术创新破解行业痛点，为半导体精密加工注入全新活力！

产品扼要说明：

镁伽科技推出的Fabsil－LG13T皮秒激光开槽设备，专为高性能半导体器件中Low－K介质层的精密开槽加工而设计。设备集皮秒激光器＆光学模组、AI视觉识别系统、高精度运动控制平台及自研气旋耦合除尘装置，实现热影响区域小、底部平整度高、加工效率领先的非接触式开槽工艺。支持8＆12英寸晶圆，线宽调节灵活，兼容SECS／GEM协议，具备全自动化生产能力。产品广泛应用于消费级集成电路制造领域，助力客户提升加工良率与生产效率，推动半导体装备国产化进程。

其设计应用或创新的关键点在哪里：

技术来源：依托镁伽自研的“感知－构思－执行”闭环技术架构，融合AI算法、精密光学、运动控制与自动化系统，形成完整的自主知识产权体系。

创新点一：AI＋视觉融合：依托“MegaAI?? Inside”技术平台，镁伽激光开槽设备拥有了“L2级智慧大脑”，学习优化工艺参数、跨设备数据流动、智慧报表和分析，AI辅助判断，实时监测，动态闭环控制。

● AI Mark定位：替代Halcon模板匹配，高精度，低报警

● AI 图形匹配：直线、矩形、晶圆，多模型匹配

● AI 数据采集训练：自动化数据采集，一键创建Recipe

● AI 智能检测：位置检测、线宽检测、异常监控

创新点二：激光开关光精准控制：自研运动控制系统实现激光开关光位置误差＜2μm，避免无效烧蚀，提升加工质量。

创新点三：电动MASK线宽调节：打破传统固定槽宽限制，支持范围内任意线宽调节，极大提升设备柔性适配能力。

创新点四：气旋耦合除尘技术：针对微米级碎屑设计高效除尘装置，实现10um级碎屑收集，提高加工洁净度，保障良率。

创新点五：全流程数据闭环：设备支持实时功率监测、自动校正、开槽位置检测与异常报警，构建闭环质量控制体系。

参选述说／理由：

从技术研发到系统落地，镁伽在激光开槽设备上从未停止创新的脚步。通过自主核心技术突破，镁伽打破了传统激光设备的制造局限，协同镁伽AI智能化驱动，形成了一套集“高效、精准、洁净、智能”于一体的系统级解决方案。无论是开槽工艺效果、提升加工良率，还是降低报警率、提升稼动率，镁伽都给出了行业领先的答案，创新性地突破了开槽制程的多个行业痛点。在半导体产业高速发展的今天，镁伽将继续以技术创新为核心驱动力，不断推出更具竞争力的精密加工解决方案，与行业伙伴携手共进，助力中国半导体产业实现高质量发展！

公司介绍：

镁伽科技是中国机器人技术应用领域领先的自主智能体（Autonomous agents）提供商，致力于为智慧实验室与智能制造场景提供全面的自主智能体及多智能体解决方案。我们通过高度智能化的软硬件系统，推动行业加速迈向高效、精准、可持续的智能化未来。

本届“维科杯·OFweek 2026激光行业年度评选”活动于6月开始进入火热的“网络投票及专家评选”阶段，这一阶段用户可登录活动官方网站，对入围参赛企业、产品进行投票；评委团将对入围名单进行多次讨论，并参考网络投票意见，审定最终获奖名单。

还犹豫什么，赶紧去参加吧！6月起，为心仪的企业及产品投票吧！