MEMS΢¾µÐÍVOAÖеÄWDLÎÊÌâ

»ùÓÚMEMS shutterºÍMEMS΢¾µµÄVOA¾ùÓй㷺ӦÓã¬Ç°ÕßÐÔÄÜÖ¸±ê½ÏºÃ£¬µ«×°Å乤ÒÕÏà¶Ô¸´ÔÓ£»ºóÕßÒ×ÓÚ×°Å䵫WDL£¨²¨³¤Ïà¹ØËðºÄ£©Ïà¶Ô½Ï´ó¡£ÔÚ¿í´øÓ¦ÓÃÖУ¬´ËÀàVOA»á¶Ô²»Í¬²¨³¤²úÉú²»Í¬µÄË¥¼õÁ¿£¬´ËÏÖÏó¶¨ÒåΪWDL¡£¿í´øÓ¦ÓÃÖУ¬ÒªÇóWDLÖ¸±êԽСԽºÃ¡£

WDLÎÊÌâÔ´ÓÚµ¥Ä£¹âÏËSMFÖеÄÄ£³¡É«É¢£¬ÎÒÃÇÖªµÀ£¬¹âÏËÖеIJ»Í¬²¨³¤¾ßÓв»Í¬µÄÄ£³¡Ö±¾¶£¬³¤²¨µÄÄ£³¡Ö±¾¶¸ü´óһЩ¡£Í¼4ËùʾΪ¹âÏËÖÐÄ£³¡µÄÉ«É¢Çé¿ö¡£

ͼ4£® ¹âÏËÖÐÄ£³¡É«É¢Çé¿ö

Èçͼ4Ëùʾ£¬¹âÊø±»MEMS΢¾µ·´Éäƫת£¬²»Í¬²¨³¤µÄµÄ¹â°ß¾ùÆ«Àë³öÉä¹âÏ˵ÄÏËо¡£ÔÚδ¾­ÓÅ»¯µÄVOAÖУ¬ËùÓв¨³¤µÄ¹â°ß¾ßÓÐÏàͬµÄÆ«ÒÆÁ¿¡£Èçʽ£¨1£©£¬Ë¥¼õÁ¿AÈ¡¾öÓÚÆ«ÒÆÁ¿XºÍÄ£³¡°ë¾¶¦Ø¡£

£¨1£©ÔÚÒ»¸öÏà¶ÔÓÐÏ޵IJ¨³¤·¶Î§ÄÚ£¬ÈçC²¨¶Î£¨1£®53¡«1£®57¦Ìm£©£¬µ¥Ä£¹âÏËÖеÄÄ£³¡É«É¢Çé¿ö¿ÉÒÔʽ£¨2£©×÷ÏßÐÔ½üËÆ´¦Àí£Û3£Ý¡£

£¨2£©¶ÔÓÚ³£ÓõĿµÄþ¹«Ë¾SMF£­28Ð͵¥Ä£¹âÏË£¬ÉÏʽÖеÄϵÊýΪa£½5£®2¦Ìm¡¢b£½3£®11£À¦Ëc£½1£®55¦Ìm¡£µ±ÖÐÐIJ¨³¤¦Ëc´¦µÄË¥¼õÁ¿Ac¸ø¶¨Ê±£¬µÃµ½¹â°ßµÄÆ«ÒÆÁ¿XcÈçʽ£¨3£©¡£

£¨3£©×ÛºÏʽ£¨1£­3£©¿ÉµÃµ½²¨³¤·¶Î§¦Ës¡«¦ËlÄÚµÄWDLÈçʽ£¨4£©£¬ÆäÖÐϱês£¬ c£¬ l·Ö±ð´ú±í²¨¶Î·¶Î§ÄڵĶ̲¨¡¢Öв¨ºÍ³¤²¨¡£

£¨4£©¸ù¾Ýʽ£¨4£©£¬µ±VOAµÄË¥¼õÁ¿AcÉèÖÃÔ½´óʱ£¬¹â°ßµÄÆ«ÒÆÁ¿XcÒ²Ô½´ó£¬Òò´Ë»á²úÉú¸ü´óµÄWDL£¬Èçͼ5£¬ ͼ6Ëùʾ¡£¸ù¾Ýͼ6£¬ÔÚË¥¼õ·¶Î§0¡«20dBºÍ²¨³¤·¶Î§1£®53¡«1£®57¦ÌmÖ®ÄÚ£¬×î´óWDL¿É´ï0£®96dB¡£ÉÌÓÃMEMS VOA¿É²âµÃ×î´óWDLΪ1£®5dB£¬ÕâÊÇÒòΪ¹âѧϵͳɫɢµÄÓ°Ï죬Ôì³É²»Í¬²¨³¤µÄ¹â°ßÔÚÊä³ö¹âÏ˶ËÃæµÄÆ«ÒÆÁ¿²»Í¬¡£ÕâÖÖÇé¿öÓëͼ4ËùʾÇé¿ö²»Í¬£¬ÔÚͼ4ÖУ¬ËùÓйâ°ß¾ßÓÐÏàͬµÄÆ«ÒÆÁ¿¡£

ͼ5£® ¶ÔÓ¦²»Í¬Ë¥¼õˮƽµÄWDL

ͼ6£® ¶ÔÓ¦²»Í¬Ë¥¼õˮƽµÄWDL