4¡¢¹âÏËÓ¦Óü¼ÊõÑо¿ÊÒ

¡¡¡¡Ï¡ÍÁ²ôÔÓ¹âÏË

¡¡¡¡¹â×Ó¾§Ìå¹âÏ˼°Ó¦ÓÃ

¡¡¡¡¸ß¾«¶ÈÍÓÂݱ£Æ«¹âÏË

¡¡¡¡ÌØÖÖ¹âÏ˲úÆ·ÖƱ¸¼¼Êõ

¡¡¡¡ÌØÖÖ¹âÏ˲âÊÔ¼¼Êõ

¡¡¡¡¹âÏË´«¸Ð¼¼Êõ

¡¡¡¡ÌØÖÖ¹âÏËÆ÷¼þ

¡¡¡¡ÌØÖÖ¹âÏËÓ¦Óü¯³É¼¼Êõ

5¡¢²âÊÔÖÐÐÄ

¹âÏ˹âÀÂÐÔÄܲâÊÔ·½·¨

¡¡¡¡ÐÂÐ͹âÏ˵IJâÊÔ¼¼Êõ

¡¡¡¡ÌØÖÖ¹âÏ˲âÊÔ¼¼Êõ

¡¡¡¡¹âÏ˹âÀ¿ɿ¿ÐÔ²âÊÔ

¡¡¡¡¹âÏË´«ÊäÐÔÄܺÍÓ¦ÓÃÐÔÄܲâÊÔ

¡¡¡¡²âÊÔ·½·¨ºÍ±ê×¼

¡¡¡¡ÌØÖÖ¹âÏËÓ¦Óü¯³É¼¼Êõ

Èý¡¢¿ÆÑÐƽ̨

¡¡¡¡ÒÀÍг¤·É¹«Ë¾½¨ÉèµÄ¹âÏ˹âÀÂÖƱ¸¼¼Êõ¹ú¼ÒÖصãʵÑéÊÒ£¬ÔÚÖÆ°ô¡¢À­Éì¡¢À­Ë¿¡¢³ÉÀ¡¢¹âÏ˹âÀ²âÊÔ¡¢¹âÏËÓ¦ÓÃÒÔ¼°¹Ø¼ü×°±¸¼¼ÊõµÈ·½Ã棬ӵÓбȽÏÆëÈ«µÄÏȽøµÄ¿ÆÑÐƽ̨ºÍϵͳ£¬ÊµÑéÊÒÒÇÆ÷É豸ԭֵ´ïÊýÒÚÔª¡£ÆäÖУº

¡¡¡¡¢Ù ÔÚÖÆ°ôÑо¿·½Ã棬ӵÓÐËÄ´ó¹¤ÒÕƽ̨¡¢ÏµÍ³»ò¼¼ÊõºÍ¹¤ÒÕÑо¿£¬ÄÜ×ÔÖ÷ÑÐÖÆPCVD¹¤ÒÕÉ豸£»ÓµÓв»Í¬Ð¾°ôÀ­ÉìµÄ¹¤ÒÕƽ̨¼°¼¼Êõ¡£

¡¡¡¡¢Ú ÔÚÀ­Ë¿Ñо¿·½Ã棬ӵÓв¢ÄÜ×ÔÖ÷ÑÐÖƲ»Í¬¹¦ÄܵÄÀ­Ë¿ÏµÍ³¡¢É¸Ñ¡É豸¡¢ÒÔ¼°×Ô¶¯¿ØÖÆÈí¼þÌåϵ£¬ÄÜÂú×ãËÙ¶ÈΪ50£­2000 m/minµÄÀ­Ë¿Ñо¿ÐèÒª¡£

¡¡¡¡¢Û ÔÚ³ÉÀÂÑо¿·½Ã棬ӵÓÐÄÜÂú×ã³£¹æ¹âÏË¡¢ÌØÖÖ¹âÏ˼°Ò»Ð©ÐÂÐ͹âÏ˵ĸ÷ÖÖ³ÉÀÂÑо¿ÐèÒªµÄƽ̨ºÍ²âÊÔϵͳ¡£

¡¡¡¡¢Ü ÔÚ¹âÏËÓ¦ÓÃÑо¿·½Ã棬ӵÓÐÈ«¹âÏ˵çÁ÷»¥¸ÐÆ÷¡¢À­Âü²âδ«¸ÐÆ÷¡¢¹âÏ˹âÕ¤´«¸ÐÆ÷¡¢¸ß¹¦Âʼ¤¹âÐÔÄܼ°¹âÏ˹âÏ˺ÏÊøµÈ·½ÃæµÄ¿ÆÑÐƽ̨»ò²âÊÔϵͳ¡£

¡¡¡¡¢Ý ÔÚ²âÊÔ¼¼ÊõÑо¿·½Ã棬ӵÓÐÆëÈ«µÄ¹âÏ˳£¹æ²âÊÔµÄÑо¿Æ½Ì¨£¬°üÀ¨¹âѧ¡¢¼¸ºÎ¡¢Á¦Ñ§¡¢»·¾³¼°¿É¿¿ÐԵȣ»Í¬Ê±£¬»¹ÓµÓйâ×Ó¾§Ìå¹âѧ¡¢±£Æ«¹âÏË¡¢²ôÏ¡ÍÁ¹âѧµÈÌØÖÖ¹âÏ˲âÊÔµÄÑо¿Æ½Ì¨»òϵͳ¡£