回购800台光刻机，ASML蒙受千亿损失，中国芯将开辟新技术路线

2023-08-16 17:58

日前长江存储代理CEO公开表示如果ASML拒绝为已购买的光刻机提供售后服务和配件，作为客户有权要求ASML回购光刻机，如果ASML被迫回购中国芯片企业已购买的800台光刻机，将蒙受千亿损失。

业界人士认为任何一项产品都应该提供售后服务，例如汽车的使用寿命长达10多年，汽车企业就会提供长达10多年的售后服务，这是企业在面对消费者应该提供的义务，光刻机这种动辄数亿元的产品更应该如此，如果ASML做不到，那么它理应回购这部分光刻机。

专家表示如果ASML既不提供售后服务，又不回购光刻机，那么中国应该考虑拒绝承认荷兰境内所有公司的知识产权，乃至可以借此没收ASML在中国的资产，ASML的专利权也不应得到维护，如此将有助于中国发展自己的光刻机产业。

如此阻碍中国发展光刻机的障碍将消失，当前中国研发光刻机的困难之一就是绕开ASML的光刻机专利，这已严重影响中国的光刻机产业发展，如果ASML和荷兰不维护中国客户的权益，中国理所当然无需再维护荷兰企业的权益，为国产光刻机的研发扫清障碍。

专家认为中国的光刻机产业如今已取得重大突破，哈尔滨工业大学研发的“高速超精密激光干涉仪”以及其他中国企业研发的双工作台、物镜系统等等，已逐渐形成了国产光刻机产业链体系，这在全球诸多经济体当中，可以说是独一份，毕竟包括美国在内都无法凭借一个国家的力量建立自己的光刻机产业链，ASML更是需要与全球数十个国家合作。

随着国产光刻机产业链的完善，日前中国的权威媒体宣布中国的28纳米光刻机最快将在今年内量产并投入使用，28纳米国产光刻机的量产，将帮助国产28纳米工艺实现真正的国产化，从此再也无需依赖欧美的芯片设备。

尤为值得注意的是28纳米光刻机为浸润式光刻技术的开端，国产28纳米光刻机的量产意味着国产芯片设备企业已真正掌握了浸润式光刻技术，而浸润式光刻技术可以发展到7纳米工艺，也就意味着接下来的14纳米、7nm光刻机的研发进程将大大加快。

国产先进光刻机的进展也是国产芯片企业敢于对ASML喊话的原因，如今ASML可以对中国出售的光刻机不过为38纳米的1980Di，对比国产28纳米光刻机已没有竞争力，既然ASML已彻底撕破脸，中国也无需再依赖ASML的光刻机，自然有了足够的底气对ASML喊话。

与此相对应的是国产先进光刻机的进展已让ASML紧张，ASML公布的今年二季度业绩显示它突然加快了对中国的光刻机交付，二季度对中国的光刻机交付量环比猛增两倍多，这或许也反映出它看到中国光刻机的进展，希望趁着中国光刻机量产之前的时间空隙加快对中国销售光刻机。

更让欧美担忧的是中国正开辟芯片技术新路线，中国已加速推进量子芯片、光子芯片技术，合肥本源量子在量子芯片技术方面的进展超出了预期，本源量子自行研发出号称量子芯片光刻机的探针平台以及确保量子芯片运行的量子冰箱，都说明国产的量子芯片商用进程在加快，一旦量子芯片实现商用，当下美国主导的硅基芯片技术路线更将被终结。